XPS-7 용 도 : 산소 결핍, 유독성 가스 등 인체에 유독한 가스를 측정하는 장비 |
- 본체 한 대에 6개월 정도를 보증하는 가스센서 유니트만 갈아 끼우는 카세트 방식으로 교정을 위한 반출등 별도의 교정 절차가
필요 없어 제품관리가 용이
- 신뢰성 높은 정전위 전해식 센서를 사용하여 유기용제(에탄올, 톨루엔, 크실렌 등)에 의한 영향이 적고, 각종 반도체 재료 가스를
정도 높게 측정
- 보기 편리한 디지털 표시
- 독자적인 마이크로 에어 펌프에 의한 자동흡입식으로 조작이 간편
대상가스 |
최대범위(F.S) |
대상가스 |
최대범위(F.S) |
NH3 |
100ppm |
HCl |
25ppm |
SiH4 |
25ppm |
HF |
10ppm |
SiH2Cl2 |
25ppm |
HBr |
10ppm |
AsH3 |
250ppb |
NO |
100ppm |
PH3 |
1ppm |
H2S |
50ppm |
B2H6 |
500ppb |
CO |
250ppm |
H2Se |
250ppb |
Si2H6 |
25ppm |
GeH4 |
1ppm |
F2 |
5ppm |
Cl |
5ppm |
O3 |
1ppm |
ClF3 |
1ppm |
|
|
- 검지원리 : 정전위 전해식
- 채집방식 : 자동 흡입식
- 정 도 : ±10%(F.S) ±1 Digit
- 사용온도 : 0 ~ 40℃
- 전 원 : 1.5V 건전지 x 4
- 규 격 : 62 x 150 x 128mm / 약 1.3kg